硅光模块
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光通信透镜
硅透镜
透镜阵列
棱镜
石英透镜
产 品 介 绍
应用层
光模块
光电集成电路
光纤收发器
共封装光学
产品层
硅光模块
硅透镜阵列
硅透镜微光结构
纳米压印+干法刻蚀流程（创新工艺）

优点：整合厂内资源，使用激光直写设备/光刻热回流工艺，完成模具前值制备；

使用非球面刻蚀工艺，硅模具制备（较金属模具而言，可降低成本>90%，且加工周期短）



核心工艺竞争力构建

光刻回流+干法刻蚀流程（传统工艺）