1：尺寸为典型，依具体投影模组的结构和晶圆排布会有一定的调整;                 2：图案各位置的照度存在上限;
3：尺寸为最大尺寸;                   4：照度为典型，由选定光源的功率大小和打开的投影通道数的多少，可调大小
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